| 번호 | 제목 |
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| 3 |
Development of SiOF based (assisted) high moisture barrier thin film by R2R MW-PECVD 엄지호, 조태연, 조성근 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
| 2 |
Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor 김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
| 1 |
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of SiO2 Thin Film 송소영, 박동화, 박영배 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
