| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD 최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD 최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |