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EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구
이구봉, 김민수, 박진구
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Facile Synthesis of Ta3N5 Nanoparticles and Their Application as a Photocatalyst for MB Degradation
윤덕현, 김은선, 김재영, 김재율, 이재성
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Preparation and characterization of ultra thin TaN films prepared by RF magnetron sputtering
Akepati Sivasankar Reddy, 조현철, 이기선
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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단열창호용 저방사 TaN/Ag/TaN/glass 다층구조박막의 미세조직 제어 및 전기광학적 특성
조현철, Akepati Sivasankar Reddy, 이기선
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Synthesis of Tantalum Oxynitride and Tantalum Nitride for Visible Light Solar Energy Conversion
김은선, 이재성
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Development of a Novel Embedded Resistor with High Stability for a PWB Application
김태유, 서수정, 박인수
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Chemical vapor deposition of TaCxNy films using tert-butylimido tris-diethylamido tantalum (TBTDET) : Reaction mechanism and film characteristics
Suk-Hoon Kim, Shi-Woo Rhee
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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In-situ diagnosis of tantalum precursors using Fourier transform infrared (FT-IR) spectroscopy
Sukhoon Kim, Moonkyun Song, Shi-Woo Rhee
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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TCR Stability of Ta2N5+x-Ag Nanocomposite Thin Film for Embedded Resistor
박인수, 박세영, 정근희, 나석민, 서수정
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
