화학공학소재연구정보센터
번호 제목
21 Bowing-Free Continuous Bandgap Modulation of Wafer-Scale WS2xSe2(1-x) Alloyed Monolayers Using Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
Hee Seong Kang, Chul-Ho Lee
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
20 Universal surface reaction model with diffusion effect in plasma oxide etching process
유혜성, 임연호, 박재형, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
19 Simulation of charge-up coupled with universal surface reaction model in plasma process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 최광성
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
18 Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas
김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
17 GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구
김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
16 High temperature pump의 Warm-up시 나타나는 Suction piping Bowing 현상과 경감 대책
최윤화
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
15 Effect of the dual synchronous pulsed plasma on the etch characteristics of SiO2
이호석, 양경채, 박성우, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
14 Etching Characteristics by using Pulse-Time-Modulation in 60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive Coupled Plasma
이철희, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
13 N타입 결정질 실리콘 웨이퍼의 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량에 따른 웨이퍼 Bowing 및 Al-doped p+ emitter 거동 분석
박태준, 변종민, 박주혁, 김지영, 김영도
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
12 GPU computing platform for ballistic transport  in 3D feature profile simulation of plasma etching process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회