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Diffusion effects of surface reaction model under the fluorocarbon plasma 오민주, 박재형, 유혜성, 육영근, 임연호 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Universal surface reaction model for fluorocarbon plasma processes for silicon, silicon oxide, and silicon nitride substrate 오민주, 임연호, 유혜성, 박재형, 육영근 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma 박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma 박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma 육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Highly Reproducible, Transfer-Printable Micropatternd Fluoropolymer for Triboelectric Generator 하재욱, 정지훈, 김성민, 이상민, 김진백 한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model 육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |