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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices
김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Design of High Thermal Stability Perpendicular Magnetic Anisotropy Structure using Co2Fe6B2 and [Co/Pt]n Multilayers as Free Layer for Below 10-nm-scale Memory Cell
정선화, 전한솔, 최진영, Kondo Kei, 백종웅, 박재근
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Enhancement of the TMR ratio for Double MgO based Perpendicular Magnetic-tunnel-junction Spin-valve by reducing Synthetic-anti-ferromagnetic Multi-layers
이동기, 최진영, Kondo Kei, 백종웅, 박재근
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice
이재용, 최재상, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
최재상, 이재용, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases
조두현, 이재용, 최재상, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Improving Thermal Stability of CoFeB Free Layer with [Co/Pt]6 Mulitlayers
Heon-Hak Ha, Hun-Mo Yang, Dong-Bum Seo, Jong-Ung Baek, Jin-Young Choi, Dong-gi Lee, Jea-Gun Park
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
