번호 | 제목 |
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1 |
Conformal Cu film growth by pulsed-MOCVD using (hfac)Cu(DMB) and (hfac)Cu(VTMS) 탁영조, 김관수, 용기중 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Conformal Cu film growth by pulsed-MOCVD using (hfac)Cu(DMB) and (hfac)Cu(VTMS) 탁영조, 김관수, 용기중 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |