| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
N-type silicon wafer를 사용하여 BBr3 diffusion 공정 중 Drive-in 공정 시 주입되는 O2가스와 BSG 제거와의 관련성 연구 이우진, 양오봉, 권순지, 김아름, 김종일, 이범수, 이경원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 1 |
단결정실리콘웨이퍼의 텍스처링 공정시간별 표면 및 광전기적 특성에 관한 연구 이우진, 양오봉, 국진희, 김종일, 이범수, 이경원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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N-type silicon wafer를 사용하여 BBr3 diffusion 공정 중 Drive-in 공정 시 주입되는 O2가스와 BSG 제거와의 관련성 연구 이우진, 양오봉, 권순지, 김아름, 김종일, 이범수, 이경원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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단결정실리콘웨이퍼의 텍스처링 공정시간별 표면 및 광전기적 특성에 관한 연구 이우진, 양오봉, 국진희, 김종일, 이범수, 이경원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |