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RF/DC 스퍼터링법에 의한 AZO(Zn:Al)박막특성 연구.|The study on properties of AZO(Zn:Al)film by RF/DC co-sputtering.
정종국, 임실묵
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Hf 조성변화에 따른 Fe-Hf-N 자성박막의 특성|The characterization of Fe-Hf-N magnetic thin film with the variation of Hf additives
맹기호, 이진혁, 강계명, 최종운, 이명호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing용 점착방지막의 열적 안정성 특성평가|Characteristics of Thermal Stability of Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing
김인권, 차남구, 박창화, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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액상전극을 이용한 분자전자소자용 나노스케일유기초박막의 전하이동특성 평가|Study on Charge Transport In Nanoscale Organic Monolayers for Molecular Electronics Using Liqyid Phase Electrodes
소병수, 유일환, 황진하
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition
소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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C4F8을 이용한 나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing 용 마스터의 점착방지막 형성|(Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing Master using C4F8)
김인권, 차남구, 이진형, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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RF-스퍼터링 성장된 Al-Ta 박막의 박막특성 및 발열특성|Physical Properties and Heating Characteristics of RF-Sputtered Al-Ta Thin Films
송대권, 이광섭, 박기남, 박인용, 이종원, 김규진, 남궁홍준
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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폴리에틸렌 박막특성 및 결정구조 연구
신규순;홍채환;우은택;조재영
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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전자사이크로트론공명플라즈마 상온화학증착에 의해 제조된 Cu/C 박막특성 (특강)|Characteristics of Cu/C films on polymer substrates prepared at room temperature by ECR-MOCVD
이중기|Joong Kee Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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초고 집적회로에서 층간 절연막으로 사용하기 위한 저 유전체 박막물질 증착|Deposition of Low Dielectric Constant Material for Intermetal Dielectric Applications in ULSI Circuits
김동선|Dong S. Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
