| 번호 | 제목 |
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 다성분계 ZnO-In2O3-SnO2 박막에 관한 연구(A study on multi-component ZnO-In2O3-SnO2 thin films deposited by RF magnetron sputtering) 이병훈, 허재성, 이정섭, 송정빈, 김태훈, 손창식, 최인훈 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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수소 혼합 가스 분위기에서 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 ZnO:Al 박막의 특성|Improvement properties of ZnO:Al by RF magnetron sputtering in H2/Ar atmosphere 이정섭, 허재성, 백상열, 이병훈, 송정빈, 최인훈 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 태양전지용 ZnO:Al 투명전도막 증착시 수소 분위기에서의 texturing 효과|In situ textured ZnO:Al thin films by RF magnetron sputtering in H2 atmosphere for solar cell 백상열, 손창식, 허재성, 이정섭, 이병훈, 최인훈 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
