학술대회 목록보기 번호 제목 1 비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
