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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성|Dependency of Planarization Efficiency on Crystal Characteristic of Abrasives in Nano Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Hyun Goo Kang, Takeo Katoh, Sung Jun Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Self-assembly에 의해 형성된 Organosilane multilayer의 표면특성과 구조
이지홍, 류승훈
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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광경화성 고분자의 경화 조건에 따른 광학특성 변화 연구
조정환;이원주;송기국
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Unsaturated Polyester 나노복합재 제조에 관한 연구
위인전;송기국
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Characterization of Low-k Thin Film Prepared from Structure-controlled PMSSQ Copolymers
최연승;윤도영;이진규;이희우;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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The effect of interaction of MSSQ copolymer and porogen on nanoporous low-k thin film structure
최연승, 김상율*, 진문영**, 이창진**, 차국헌***
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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광경화성 고분자의 경화 조건에 따른 반응속도 및 광학특성 변화 연구
위인전, 이원선*, 이종하, 송기국
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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[2.2]파라사이클로팬으로부터 패릴린 박막의 증착|Deposition of parylene films from [2.2]paracyclophan
선우웅, 김철진, 김의정|Woong Sunwoo, Chul Jin Kim, Eui Jung Kim
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
