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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가 차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Large-Scale Gold Nanowire-Network and Nanotube Prepared by Organic Template based on Electroless Deposition 정주용, 김원배 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas 강동진, 이건교, 이병택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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RIE(Reactive Ion Etching)에 의해 표면처리한 Cu/PI film의 접착특성 이욱재, 김윤배, 이우영, 한준현, 한승희, 지광구 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Deep RIE 공정을 이용한 차세대 이동 통신용 멤브레인 구조의 FBAR 제작 안영배, 문정현, 이재빈, 김형준 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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압전 방식 액츄에이터 제작과 전기 기계적 특성 이장근, Pham Van So, 여재진, 신상훈, 이재찬 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Submicron- and Nano-scale Patterning of Polydimethylsiloxane Resist Structures on Electronic Materials using Decal Transfer Lithography and Reactive Ion Etching 안희준, Anne Shim, Ralph G. Nuzzo 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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Label-Free DNA Sensors Using the Single-Walled Carbon Nanotube Films 정대환, 윤상천, 고영관, 정희태 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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Patterned Nano-dot Array Using Capillary Force Lithograpy and Block Copolymer Template 장세규, 양승만 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Nanoscale SiC-based Ceramic Patterns with Near-zero Residual Layers Using Imprinting Techniques and RIE 박준홍, 홍난영, 김동표 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |