화학공학소재연구정보센터
번호 제목
43 연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
42 Large-Scale Gold Nanowire-Network and Nanotube Prepared by Organic Template based on Electroless Deposition
정주용, 김원배
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
41 Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas
강동진, 이건교, 이병택
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
40 RIE(Reactive Ion Etching)에 의해 표면처리한 Cu/PI film의 접착특성
이욱재, 김윤배, 이우영, 한준현, 한승희, 지광구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
39 Deep RIE 공정을 이용한 차세대 이동 통신용 멤브레인 구조의 FBAR 제작
안영배, 문정현, 이재빈, 김형준
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
38 압전 방식 액츄에이터 제작과 전기 기계적 특성
이장근, Pham Van So, 여재진, 신상훈, 이재찬
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
37 Submicron- and Nano-scale Patterning of Polydimethylsiloxane Resist Structures on Electronic Materials using Decal Transfer Lithography and Reactive Ion Etching
안희준, Anne Shim, Ralph G. Nuzzo
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회
36 Label-Free DNA Sensors Using the Single-Walled Carbon Nanotube Films
정대환, 윤상천, 고영관, 정희태
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회
35 Patterned Nano-dot Array Using Capillary Force Lithograpy and Block Copolymer Template
장세규, 양승만
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회
34 Fabrication of Nanoscale SiC-based Ceramic Patterns with Near-zero Residual Layers Using Imprinting Techniques and RIE
박준홍, 홍난영, 김동표
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회