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Hot Wall Epitaxy (HWE) 방법에 의한 CuGaTe2 단결정 박막 성장과 광전류 특성|Growth and Photocurrent Properties of CuGaTe2 Single Crystal Thin Films by Hot Wall Epitaxy 백승남, 홍광준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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CVD법으로 제작한 (1-x)Ta2O5–xTiO2 박막의 열처리 온도에 따른 특성변화|Characteristics of (1-x)Ta2O5–xTiO2 thin film at various annealing temperature by CVD 강필규, 진정근, 강호재, 노대호, 안재우, 변동진 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ZnO 박막성장 및 특성평가|Growth and Chracterization of ZnO films using RF magnetron sputtering 김일수, 정상헌, 이병택 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Al2O3(0001) 기판상 ZnO 이종 에피탁시 박막의 초기성장거동|Early Stage Heteroepitaxial Growth Behavior of ZnO Thin Films on Al2O3 (0001) 이동주, 박재영, 장창환, 김상섭 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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기판의 표면처리를 이용한 6H-SiC 단결정 동종 성장 연구 이승현, 이경선, 남기석 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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저온 GaN buffer 층을 이용한 GaN 박막 성장에 관한 연구|Studies on the growth of GaN thin films by using low temperature GaN buffer layers 윤덕선, 여석기, 도창주, 한승훈, 박진호|Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Changjoo Doh, Seunghun Han, Chinho Park 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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원자층 증착 공정에 관련한 Si(100)위에서 알코올의 표면화학연구|surface chemistry of alcohols on Si(100) for ALD process 김재현, 김관수, 용기중|Jaehyun Kim, Kwansoo Kim, Kijung Yong 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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SiC/Si 기판 위에 3C-SiC 결정 박막의 Homoepitaxy 성장 연구|Homoepitaxial Growth of 3C-SiC(100) thin film on SiC/Si Substrate 노재일,이경선,김광철,남기석|Jae Il Roh,Kyung Sun Lee,Kwang Chul Kim,Kee Suk Nahm 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 ZnO박막의 식각 특성|Etch Characteristics of ZnO films in Cl2 based 박진수, 임연호, 최창선, 김태희, 한윤봉|J. S. Park, Y. H. Im, C. S. Choi, T. H. Kim and Y.B. Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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사파이어 기판의 방향성에 따른 GaN 박막 성장|Growth of GaN Thin Films on Sapphire Substrate with Varying Orientations 이순애, 박진호|Soonae Lee, Chinho Park 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |