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Fabrication and thermal stability of W, WNx diffusion barriers in the low-k integration structure
전성호, 용기중
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 47 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu 의 선택적 용해도에 대한 특성분석
이진욱, 이원규
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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전기화학적 연마기의 제작 및 특성평가
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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In-situ Grazing Incidence X–ray Scattering Studies on the Evolution of Nanostructures in Nanoscale Thin Films of Polymers
윤지환, 허규영, 진경식, 이병두, 오원태, 황용택, 진상우, 김제한, 김광우, 이문호
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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The Effects of UV Treatment on Photosensitive Organosilicate Films Containing UV Responsive Pendant Group
구형준, 차국헌
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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The Microstructures and Mechanical Properties of Polyalkylsilsesquioxane copolymers
박은수, 노현욱, 심재환, 윤도영
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Pretreatment on the Formation of Nanoporous Low Dielectric Thin Films
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Precure on Physical Properties of Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group
구형준, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Synthetic Characteristics of Organosilicate Copolymers for DRAM Intermetal Dielectrics
홍진기, 박주현, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Pretreatment on the Formation of Nanoporous Low-k Organosilicate Thin Films
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
