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학술대회 목록보기

번호	제목
74	Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
73	Detecting pore opening point of anodic alumina via UV-visible spectrophotometer measurement 윤여경, 정수환 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
72	Highly sensitive gas sensors based on nanostructured TiO₂ thin films 장호원, 문희규, 김도홍, 심영석, 윤석진 한국재료학회 2011년 봄 학술대회
71	Fabrication and Optical Characterization of AlGaN/InGaN Multiple Quantum Well Nanopillar Ultar Violet Light Emitting Diodes 윤재식, 김재관, 이지면 한국재료학회 2011년 봄 학술대회
70	Preparation of gold electrode on polyimide via modified layer-by-layer deposition of gold nanoparticles 윤태호 한국고분자학회 2010년 가을 학술대회
69	Real-Time Endpoint Detection for SiO₂ Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis 장해규, 김대경, 채희엽 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
68	Effect of CH₂F₂ addition on angular dependence of SiO₂ etching in a C₄F₆/O₂/Ar plasma 조성운, 김창구 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
67	Comparison of the plasma etching and chemical etching of glass Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim 한국재료학회 2010년 가을 학술대회
66	Ultra high etch selectivity and variation of line edge roughness during etching of silicon oxynitride with patterned extreme ultra-violet resist resist in dual-frequency capacitively coupled plasmas 권봉수, 이정훈, 이내응 한국재료학회 2010년 가을 학술대회
65	Angular dependence of SiO₂ etch rates in C₄F₆/Ar/O₂and C₄F₆/Ar/O₂/CH₂F₂ plasmas 조성운, 김창구 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회