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유-무기 혼성몰드를 이용한 나노임프린트 공정 기술 이동일, 정준호, 이응숙, 최대근, 배병수, 김우수 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Amorphous silicon hard mask 를 이용한 high selectivity pattern 구현|Fabrication of high selectivity patterns using an a-Si hard mask 조민수, 차남구, 박창화, 임현우, 박진구 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 마이크로 인장시편의 제조|Fabrication of Micro Tensile Test Specimens of Single Crystal Silicon Using MEMS Processes 전창성, 박준식, 이상렬, 이낙규, 이혜진, 윤대원, 강성군 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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수질 내 암모니아 분석을 위한 마이크로 유체 시스템|A Micro Fluidic System for Ammonia Analysis in Ground Water 박준식, 신규식, 박광범, 박효덕, 김수호, 김민찬, 김정림 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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양극산화 알루미나 나노채널을 이용한 실리콘 기판의 나노 기공 제작|Fabrication of nanotrenches using the AAO nanochannels on Si substrates 최준호, 홍순구, 박문규, 조유석, 우부성, 김도진 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교|Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas 박민영, 최충기, 류현우, 노호섭, 문준희, 유승열, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells 전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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마이크로 부품 및 세포의 마이크로 그리핑을 위한 Pneumatic line을 갖는 Si Micro Gripper의 설계 및 제작|Design and Fabrication of Si Micro Grippers with Pneumatic Lines for Micro Gripping for Micro Parts and Bio-Cells 윤현명, 박준식, 문찬우, 이인규 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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C2F6 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구|Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas. 이건교, 이병택 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성|Etch Stop Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film by Using CeO2 Buffer Layer 권영석, 심선일, 김용태, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |