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고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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구리배선 저유전물질로 사용되는 유기실리케이트 공중합체의 미세기계적 물성 연구|A Study on Micromechanical Properties of Low Dielectric Organosilicate Copolymers
김대환, 주상현, 차국헌, 이진규, 윤도영, 한준희|Daehwan Kim, Sang-Hyon Chu, Kookheon Char, Jin-Kyu Lee, Do. Y. Yoon, Jun-Hee Hah
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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반도체 제조 공정 중의 미립자 성장 모델 연구|Analysis on Particle Growth Models in Semiconductor Fabrication Process
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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재진입을 고려한 반도체 공정에서의 최적 생산계획|Optimal Scheduling in Semiconductor Process Considering Reentrant Flows
정사무엘, 김상범, 이호경, 이인범|Samuel Chung, Sang-Bum Kim, Ho-Kyung Lee, In-Beum Lee
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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초고집적 반도체 세대의 공정 기술|Semiconductor Processes In ULSI era
김재정|Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas
선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서의 입자 전하 분포와 입자 충돌|Particle Charge Distribution and Coagulation in Plasma Reactor
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
