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SiO2 Etching Studies in Inductively Coupled C4F6 Plasma 채화영, 장원석, 유동훈, 김진태, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd) 이정기, 황성진, 이성민, 김형순 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Self-Assembly of an Organic-Inorganic Block Copolymer Containing Silicon Moiety via Solvent Annealing 구세진, 김수민, 김진백 한국고분자학회 2009년 가을 학술대회 |
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Preparation of Gold Patterns on Polyimide Film via Layer-by-Layer Deposition of Gold Nanoparticles Fevzihan Basarir, 윤태호 한국고분자학회 2009년 가을 학술대회 |
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High-performance solution-processed organic transistors and inverters fabricated by using the selective self-organization technique 김세현, 박찬언 한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
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Effect of Gas Injection in Inductively Coupled Plasma with Fluorocarbon Plasma using Computational Fluid Dynamic Simulation 황진하, 김대경, 김민식, 박근주, 채희엽 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates and SiO2 to Si3N4 etch selectivity in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 이진관, 문상흡, 김창구 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Effects of pH variation in post-etch cleaning solutions 고천광, 김태경, 원동수, 손향호, 이원규 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate Lee Jungki, Hwang Seongjin, Lee Sungmin, Kim Hyungsun 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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저온저압 플라즈마 환경에서의 미립자 유동 분석 김헌창 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |