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ICP를 이용한 BCl3/CH4/H2/Ar, Cl2/CH4/H2/Ar chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교
이학주, 권봉수, 김현우, 김선일, 정호영, 노화영, 이내응
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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수소처리에 따른 μc-Si 박막 태양전지용 Al-doped ZnO 박막의 특성
탁성주, 강민구, 이승훈, 김원목, 이정철, 임희진, 김동환
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성 분석
이진욱, 이원규
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system)
김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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PDMS molding과 Nano-Imprint Lithography를 이용한 초소수성을 가지는 대나무 잎의 나노구조 복제
황재연, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Nanoimprint Lithography 기술과 Reactive ion etcing 기술을 이용한 수십 나노급 상변화 물질 패턴 형성 연구
양기연, 김종우, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma)
주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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수용성 식각 잔여물의 효과적인 건식 세정법
정재목, 임권택, 김승호, 이민영
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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PCB 공정폐액을 이용한 재활용 Cu 분말의 분산성 및 순도에 대한 연구
정항철, 공만식, 홍현선, 조진기, 이준균, 이강남, 윤의한
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
