화학공학소재연구정보센터
번호 제목
28 산화막 형성과 열처리를 이용한 Si0.77 Ge0.23 박막의 격자 이완|Strain Relaxation of Si0.77 Ge 0.23on Si(100) by Oxide Capping and Thermal Annealing
김현우, 홍석원, 배덕규, 송석찬, 최석, 정승훈, 윤의준
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
27 DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가|Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering
김경원, 이태권, 김호정, 이순영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
26 전자빔 증발법으로 제조한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가|Characterization of The Thermal Treatment of Al2O3 Thin Films by E-beam Evaporation
Hyun-Wook Ryu, Jin-Seong Park
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
25 PLD를 이용하여 Si 기판 위에 제조한 에피텍셜 SrTiO3/BaTiO3 초격자의 결정성 및 전기적 특성에 관한 연구|Crystallinity and electrical properties of epitaxial SrTiO3/BaTiO3 super lattice fabricated on TiN buffered Si substrates by Pulsed Laser Deposition
김태언, 김보람, 문종하, 김진혁
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
24 PLD 방법으로 증착한 Nd-치환 Bi4Ti3O12 박막의 구조와 강유전 특성|Structure and ferroelectric properties of Nd-substituted Bi4Ti3O12 thin films
정경호, 장현명, 류선열, 전웅
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
23 코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide
정영순, 송오성
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
22 CN계 나노구조의 구조적·광학적 특성
홍주형, 한윤봉, 김상훈
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
21 Submicron-patterning of Si3N4/Si(100) using atomic force microscopy
김창묵, 김영훈, 최인희, 김진수, 이종협
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
20 Preparation and Characterization of ZnO Nano Films by Atomic Layer Deposition
이 석, 최락준, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
19 반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target
이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회