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후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition
소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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유동층 CVD를 이용한 3차원 입자에의 광촉매 박막증착
박재현, 이승용, 배달희, 조성호, 주현규
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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광촉매가 박막증착된 비드의 아세트알데히드 분해능 평가
이승용, 박재현, 배달희, 조성호, 류호정, 황은주
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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RTMOCVD에 의한 ZrO2박막의 제조 및 특성 분석
송병윤, 이원규
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Substrate의 높이에 따른 parylene 박막의 특성
윤인수, 박진호, 여석기, 윤덕선, 송민철
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 함문호, 김명석, 윤일구, 명재민
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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이온 빔 식각에 의한 나노구조 양자점 제조|Nano-structured quantum dot formed by ion beam etching
김형석, 서주형, 박찬경
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Parylene 박막 증착 반응기의 전산 유체 해석
윤인수, 박진호, 여석기, 한승훈, 이종승, 송민철
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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스피넬형 자성반도체 ZnCo2O4 박막의 구조적, 전기적 및 자기적 성질|Structural, Electrical and Magnetic properties of spinel-type magnetic semiconductor ZnCo2O4 thin film
김효진, 송인창, 심재호, 김도진, 임영언, 김현중, 주웅길
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Al2O3(0001) 기판상 ZnO 이종 에피탁시 박막의 초기성장거동|Early Stage Heteroepitaxial Growth Behavior of ZnO Thin Films on Al2O3 (0001)
이동주, 박재영, 장창환, 김상섭
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
