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CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma 전처리로 인한 구조적 특성의 비교 분석
진성언, 변동진, 이승무, 박지훈, 이도한, 최종문, 김창균, 정택모
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Cu(dmamb)2를 이용한 CVD Cu 박막의 제조 시 증착온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향
최종문, 변동진, 이도한, 진성언
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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다공성 ZnO 박막의 나노 구조 제어를 통한 투명 초발수 박막 제조
이민, 김진호, 임태영, 황종희, 김은경
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Solution Processed CdS Nanoparticle/ZnO NanowireHeterostructure Arrays
탁영조, 이동욱, 용기중
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Studies on Characteristics of Cu Thin/Thick Films Electrodeposited from Pyrophosphate Baths(Pyrophosphate 용액으로부터 전기 도금된 구리 박막/후막의 특성에 관한 연구)
신동율, 박덕용, 구본급
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Analysis of seed layer profiles inside the vias
김창규, 이원종
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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A novel method of silver seed layer formation for copper electroless deposition on glass
나디아, Danielle Rhen, 정찬화
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Nano Mother Mold의 재사용을 위한 Imprinting용 Ni Nano Stamp 복제 공정개발
이정기, 조시형, 이정환, 김동진, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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포토리소그래피와 전기화학적 공정을 이용한 마이크로메쉬 제작
김동욱, 이새은, 조시형, 강형범, 임현우, 박진구
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
