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박막저항체를 위한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Cu-Ni alloy 박막의 특성|The characteristics of Cu-Ni alloy prepared by RF magnetron sputtering for thin film resistor
허성기, 최은석, 윤순길, 김동진, 강병돈
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Plasma source와 RF power에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상|The Evolution of Preferred Orientation and Morphology of NiO Thin Films under Variation of Plasma Source and RF Power
Hyunwook Ryu, Jinseong Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition
김선일, 이승렬, 안병태
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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CVD법으로 제작한 (1-x)Ta2O5–xTiO2 박막의 열처리 온도에 따른 특성변화|Characteristics of (1-x)Ta2O5–xTiO2 thin film at various annealing temperature by CVD
강필규, 진정근, 강호재, 노대호, 안재우, 변동진
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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(Bi,La)Ti3O12 강유전체 물질을 갖는 전계효과형 트랜지스터의 제작과 특성연구|Preparation and Properties of Field Effect Transistor with (Bi,La)Ti3O12 Ferroelectric Materials
서강모, 조중연, 장호정
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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AFM을 이용한 Si3N4가 코팅된 Si(100) 표면의 패터닝
최인희, 김창묵, 김영훈, 김진수, 이종협
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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표면처리에 의한 CN 나노구조 연구
홍주형, 김상훈, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr)의 Si(100) 표면에서의 열분 해에 대한 표면 화학 연구|Surface Chemistry Study for Thermal Decomposition of Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr) on Si(100)
정준희,임성원,용기중|Joonhee Jeong,Sungwon Lim,Kijung Yong
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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수직관형반응기를 이용한 GaN 나노와이어의 촉매성장 및 특성연구|The Catalytic Growth and Characterization of GaN Nanowires Using a Vertical Chemical Vapor Deposition Reactor
김태윤,이상현,모영환,남기석|Tae Yun Kim,Sang Hyun Lee,Young Hwan Mo,Kee Suk Nahm
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 공정에 관련한 Si(100)위에서 알코올의 표면화학연구|surface chemistry of alcohols on Si(100) for ALD process
김재현, 김관수, 용기중|Jaehyun Kim, Kwansoo Kim, Kijung Yong
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
