화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
11	초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술\|Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors' electrodes 김현우 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
10	마스크를 사용하지 않은 PE(Pendeo Epitaxy) GaN에피층의 미세구조적 특성\|Microstructural Characterization of GaN Epilayer by Maskless Pendeo-Epitaxial Process 박동준, 이정용, 조형균, 홍창희, 정흥섭 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
9	C₂F₆ 및 NF₃ 유도결합플라즈마를 이용한 SiO₂ : Ge 식각에관한 연구\|Inductively coupled plasma Reactive ion etching of Ge doped silica glass using C₂F₆ and NF₃ 이 석 룡, 문 종 하, 김 원 효, 이 병 택 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
8	Ultrahigh Density CoCrPt Magnetic Media Patterned From Block Copolymer Templates 최대근, 양승만, 정희태, 권기영, 정종률, 신성철 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
7	Top surface imaging by selective adsorption of silicon surfactants 김진백, 서지수 한국고분자학회 2003년 가을 학술대회
6	상분리된 블록공중합체 미세구조의 나노공학에의 응용: 나노패터닝과 나노입자 제조\|Phase Separated Block Copolymers Microdomains for Nanotechnology: Nanopatterning and Nanoparticle Fabrication 박철민\|Cheolmin Park 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
5	Control of Block Copolymer Microdomain Patterns for Nanotechnology 박철민 한국고분자학회 2002년 가을 학술대회
4	Fabrication of Multimode Waveguide using a Photosensitive Polymer for Optical Interconnection 김준성, 강재욱, 김장주 한국고분자학회 2002년 봄 학술대회
3	백금 박막의 반응성 에칭 특성\|Reactive Etching Characteristics of Platinum Films 김진홍, 우성일\|Jin Hong Kim, Seong Ihl Woo 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
2	비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각\|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory 정지원, 김창정\|Chee Won Chung, Chang Jung Kim 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회