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학술대회 목록보기

번호	제목
27	Numerical Analysis of Capacitively Coupled Plasma Driven by Dual RF Power Sources 김헌창, 황일선 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회
26	유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbO_x nanodot의 식각 메카니즘 연구 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회
25	The application of atmospheric pressure plasma on the surface cleaning 정미희, 권오준, 양인영, 최호석 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
24	Dry Etching of SiO₂ with C₂F₆ Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code 서승택, 이용희, 이광순 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
23	RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 Er³⁺ 도핑된 텅스텐-텔루라이트 유리 박막의 제조 및 광학적 특성평가\|Fabrication of Er³⁺-doped Tungsten-Tellurite Glass Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Method and Optical Property Characterization 유기영, 신상훈, 문종하, 김진혁 한국재료학회 2004년 가을 학술대회
22	CFD-ACE를 이용한 ICP-RIE공정의 전산모사 이용희, 이광순 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
21	대기압 플라즈마를 이용하여 Si-wafer photoresist 제거실험에 관한 연구 정미희, 최호석 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
20	TCP-PECVD를 이용한 n-type 마이크로결정질 실리콘 박막형성에 공정조건이 미치는 영향\|The Effect of Process Conditions for Formation of n-type Microcrystalline Silicon Thin Films by TCP-PECVD 이형철, 이유진, 신진국, 염근영 한국재료학회 2004년 봄 학술대회
19	RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 Er³⁺ 도핑된 텅스텐-텔루라이트 유리 박막의 제조 및 광학적 특성평가\|Fabrication of Er³⁺-doped Tungsten-Tellurite Glass Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Method and Optical Property Characterization 유기영, 신상훈, 문종하, 김진혁 한국재료학회 2004년 봄 학술대회
18	Silicon oxide deposition by atmospheric-pressure PECVD in a circulating fluidized bed reactor 박상민, 정순화, 박성희, 김상돈 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회