화학공학소재연구정보센터
번호 제목
25 Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method
김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
24 HfO2/SiOxNy/Si 게이트 구조의 열처리에 따른 열적 안정성과 전기적 특성|Thermal Stability and Electrical Characteristics on Annealing of HfO2/SiOxNy/Si Gate Dielectric Structure
최지훈, 김석훈, 강현석, 우상현, 홍형석, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
23 Co/Ni 복합실리사이드의 FIB를 이용한 나노배선 구조의 형상 분석|Characterization of Nano Interconnect Structure in Co/Ni Composite Silicide using on FIB
김상엽, 송오성
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
22 아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화|Property of Composite Titanium Silicide on Amorphous and Crystalline Silicon Sunstrates
김상엽
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
21 Interfacial properties of ultra thin HfxSi1-xO2 films grown by ALCVD using Hf(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4 for CMOS application
김재현, 용기중
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
20 게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application
김상엽, 송오성, 정영순
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
19 실리콘 나이트라이드 완충층을 가지는 ZnO 박막의 특성 평가|Characterization of ZnO films with Si3N4 buffer on Si (001) substrates
정철원, 한석규, 심재호, 김홍승, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
18 ZnO 박막의 구조 및 광 특성에 미치는 스퍼터링 산소분압 및 플라즈마 세기효과|Effects of sputtering oxygen partial pressures and power on structural and optical properties ZnO films on SiO2/Si (001) substrates
한석규, 최준호, 심재호, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
17 TiO2 박막의 다층 증착에 의한 Re-RAM 특성 변화|Characterization of TiO2 deposited layer by layer for Re-RAM
김경래, 이태호, 박인성, 고한경, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
16 Pt/SrBi2Nb2O9/Pt/Y2O3/Si 게이트 구조를 가지는 MFMISFET 의 제작 및 특성|Fabrication and characterization of MFMISFETs with Pt/SrBi2Nb2O9/Pt/Y2O3/Si gate structure.
김익수, 심선일, 김용태, 최인훈
한국재료학회 2005년 봄 학술대회