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뒤집힌 단일웨이퍼 반응기에서 클로로실란으로부터 실리콘 화학증착|Si CVD from Chlorosilanes in an Inverted Single-Wafer Reactor
김철진, 김의정|Chul Jin Kim, Eui Jung Kim
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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플라즈마 MOCVD를 이용한 SrTiO3 박막 증착 및 특성|Properties of SrTiO3 Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition
김도오, 최락준, 임연호, 조범철, 남기석, 한윤봉|D.O.Kim, R.J.Choi, Y.H.Im, B.C.Cho, K.S.Nahm, Y.B.Hahn
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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사진공정을 이용한 RTD(Resistance Temperature Detector) 센서의 제조|The Fabrication of RTD(Resistance Temperature Detector) sensor using Photolithography
김지광, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Jongsung Kim, Younghwa Shin
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구|Study on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido-titanium for TiN metal-organic chemical vapor deposition
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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디에틸실란/산소로부터 이산화규소 저압화학증착의 속도론적 연구|A Kinetic Study on LPCVD of SiO2 from Dethylsilane/Oxygen
김철진, 김의정|Chul Jin Kim, Eui Jung Kim
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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자기 응집된 막을 이용한 TS-1 나노 입자에 폴리피롤 초박막 증착에 관한 연구|Nanothickness Polypyrrole Films Deposition on TS-1 Nanoparticles Using Self-assembled Bilayer
조규진*, 박권필*, 문일식*, 설용건**, 정경택**, 이재석***|Gyoujin Cho*, Kwonphil Park*, Il-Shik Moon*, Dyeong Tack Jung**, and Jae-Suk L
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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무전해 Ni-P도금된 WC-Co상에 다이아몬드 박막 증착|Deposition of Diamond Thin Film on Electroless Ni-P Coated WC-Co Substrates
김진오, 김헌, 박정일*, 박광자*|Jin-Oh Kim, Hern Kim, Jung-Il Park, Kwang-Ja Park
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향
정원영, 김도현
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
