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SAMs 패턴에서의 선택적 증착을 이용한 MIS capacitor 제작|Fabrication of MIS Capacitors by Selective Deposition Technique on Patterned SAMs 원상희, 오태관, 김지영 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발|Development of MEMS Process for Micro Plasma Realization 장수욱, 이제원, 박민영, 유승열, 노호섭, 조관식, 박강수, 손채화, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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알루미늄의 양극산화공정을 이용한 NbOx nanopillar의 형성 박익현, 신 별, 이장우, 정지원 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Soft lithography using Block Copolymer Self-Assembly|Soft lithography using Block Copolymer Self-Assembly 김상욱 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Magnetic Particle Arrays using Geometrically Confined Block Copolymer Template 장세규, 최대근, 양승만 한국고분자학회 2004년 봄 학술대회 |
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상온저압 나노임프린트 공정기술을 이용한 대면적 나노패턴제작 최대근, 정준호, 이응숙, 심영석, 신영재, 손현기 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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A Comparative Study on Atomic Layer Etching of Chlorinated-Silicon Surfaces in Argon and Helium Plasmas 정희석, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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다양한 슬러리 조건에서의 Ru 박막의 Etching 및 Polishing 거동|Etching and Polishing Behaviour of Ru Thin Film at Various Slurries Condition 이진형, 이상호, 박진구 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Hot Embossing을 이용한 플라스틱 CE chip 제작|Manufacturing of a Plastic based Capillary Electrophoresis Chip Using Hot Embossing 임현우, 박창화, 김인권, 차남구, 박진구, 이은규 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |