화학공학소재연구정보센터
번호 제목
55 Cu ECMP 공정에서 전해질 특성평가 및 첨가제 영향
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
54 Embedded Resistor를 위한 TaN-(Ag,Cu)박막의 특성
박세영, 박인수, 정근희, 나석민, 서수정
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
53 초임계 이산화탄소와 반도체 세정 첨가제 혼합물의 상거동
권세호, 한갑수, 유기풍, 임종성
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
52 초임계 이산화탄소내에서 Isodecyl acrylate와Isodecyl methacrylate계의 고압 상거동
공효두, 신정수, 이하연, 변헌수
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
51 Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
50 광촉매 TiO2 제조를 위하여 TDMAT와 Ethyle acetate를 이용한 ALD 공정
로자나, 김도형
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
49 전기화학적 연마기의 제작 및 특성평가
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
48 Nano imprint Lithgoraphy를 이용한 무잔류층 50nm 패턴 형성에 관한 연구
양기연, 변경재, 김종우, 이헌
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
47 Embedded Resistor용 반응성 스퍼터링 증착법을 이용한 Ta/ 다층박막의 전기적특성
박세영, 나석민, 박인수, 서수정
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
46 Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회