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Chemical vapor depositon and characterization of high barrier coatings for flexible electronic applications
한성욱, 김도엽, 문성식, 박오옥
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
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A Facile, Surfactant-Free, and Rapid Self-Assembling a Close-Packed Monolayer of Nanowires for Electronics
이태일, 최원진, 문경주, 정운룡, 백홍구, 명재민
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Fabrication of transparent oxide thin film transistor based on rf magnetron sputtering
우창호, 김영이, 조형균
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect
문대용, 한동석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film.
한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Growth Behavior of ZnO on Porous Alumina by Atomic Layer Deposition
안승건, 이후용, 박선희, 안대영, 민요셉
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Al2O3 게이트 절연물질을 사용한 InGaZnO thin film transistors 의 성능향상
우창호, 김영이, 안철현, 조형균
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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다양한 물성의 replica stamp 제작 기법
김연상
한국고분자학회 2009년 가을 학술대회 |
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Novel 3D nanofabrication technique and its applications
전석우
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
