학술대회 목록보기 번호 제목 1 LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 11 12 13 14 15 16 17