| 14 |
MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 13 |
Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases
변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
| 12 |
InGaN/GaN 다층양자우물 LED구조의 Cl2/Ar ICP 식각|Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Etching of InGaN/GaN Multiple Quantum well Light-Emitting Diode Structure
박형조, 최창선, 최락준, 홍주형, 한윤봉|H. J. Park, C. S. Choi, R. J. Choi, J. H. Hong, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
| 11 |
Magnetic Nanopatterns from Monolayer Films of Diblock Copolymer Micelles with Oxygen Plasma Treatment
윤상현, 유성일, 손병혁
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
| 10 |
Nanopattern Fabrication Using Monolayer Films ofDiblock Copolymer Micelles with Plasma Etching
윤상현, 김태현, 손병혁
한국고분자학회 2002년 봄 학술대회 |
| 9 |
고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작|High Density Plasma Etching of Y-Ba-Cu-O Superconductor and Device Application
임연호,한윤봉,강형곤,한병선|Y. H. Im,Y. B. Hahn,H. G. Kang,B. S. Han
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
| 8 |
분자모델링 기법을 이용한 Si3N4 표면의 플라즈마 식각 현상 해석|Molecular Dynamics Simulations of Plasma Etching of Si3N4 Surface
이승엽,김동호,김도현|Seung Yup Lee,Dong Ho Kim,Do Hyun Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
| 7 |
고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
| 6 |
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 SiC박막 식각특성|Etching of SiC Thin Films in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasmas
최창선, 임연호, 박진수, 김태희, 한윤봉|C. S. Choi, Y. H. Im, J. S. Park, T. H. Kim, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
| 5 |
DMFC의 메탄올 crossover 감소를 위한 전해질 막의 개질에 관한 연구|Modification of Proton Conducting Membrane for Reducing Methanol Crossover in DMFC
최원춘, 김주담, 우성일|Won Choon Choi, Ju Dam Kim, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
