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플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 저유전체 박막의 제조 및 특성|Plasma enhanced chemical vapor deposition and characterization of low-k dielectric thin film
김태희,홍주형,한윤봉|Tae-Hee Kim,Joo-Hyung Hong,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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순환유동층 플라즈마 반응기를 이용한 고분자 입자의 친수성 향상|Improvement of Hydrophilicity of Polymer Powders in a Circulating Fluidized Bed Plasma Reactor
정순화, 박성희, 김상돈|Soon Hwa Jung, Soung Hee Park, Sang Done Kim
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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순환유동층 반응기를 이용한 HDPE 입자의 산소 플라즈마 표면처리|Oxygen-Plasma Surface Treatment of HDPE Powders in a Circulating Fluidized Bed Reactor
정순화, 박성희, 김상돈|Soon Hwa Jung, Soung Hee Park, Sang Done Kim
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD
최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 박막의 식각|Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Films with Cl2/Ar Discharges
한윤봉|Bum-Chul Cho, Yeon-Ho Im, Jin-Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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초고 집적회로에서 층간 절연막으로 사용하기 위한 저 유전체 박막물질 증착|Deposition of Low Dielectric Constant Material for Intermetal Dielectric Applications in ULSI Circuits
김동선|Dong S. Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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PECVD를 이용한 ZrO2 박막의 제조와 특성연구|The Preparation and Characterization of ZrO2 thin films by PECVD
김기동, 신동근, 조영아, 전진석, 최동수, 박종진|K.D.KIM, G.D.Shin, Y.A.CHO, J.S.Jeon, D.Choi, J.J.Pak
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
