번호 | 제목 |
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금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition 김선일, 이승렬, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
4 |
액적화학증착법을 이용한 LiMn2O4 박막 제조 및 특성 분석|Characterization of LiMn2O4 thin films prepared by Liquid Source Misted Chemical Deposition 김기웅, 한규승, 우성일|Ki Woong Kim, Kyoo Seung Han, Seong Ihl Woo 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
3 |
플라즈마-MOCVD를 이용한 PbTiO3 박막의 전기적, 구조적 특성에 대한 급속열처리 의 영향|Effect of Rapid Thermal Annealing on the Structural and Electrical Properties of PbTiO3 Thin Films Prepared by Plasma Enhanced MOCVD 김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
2 |
LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD 최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
1 |
플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect 김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |