화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition
김선일, 이승렬, 안병태
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
4 액적화학증착법을 이용한 LiMn2O4 박막 제조 및 특성 분석|Characterization of LiMn2O4 thin films prepared by Liquid Source Misted Chemical Deposition
김기웅, 한규승, 우성일|Ki Woong Kim, Kyoo Seung Han, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회
3 플라즈마-MOCVD를 이용한 PbTiO3 박막의 전기적, 구조적 특성에 대한 급속열처리 의 영향|Effect of Rapid Thermal Annealing on the Structural and Electrical Properties of PbTiO3 Thin Films Prepared by Plasma Enhanced MOCVD
김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회
2 LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD
최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회
1 플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect
김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회