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기판의 표면처리를 이용한 6H-SiC 단결정 동종 성장 연구
이승현, 이경선, 남기석
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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FBAR 소자제작을 위한 Patterning 공정 연구
최승혁, 김종성
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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INVAR 강 식각용액의 중금속 분리/회수 공정에 관한 연구|A Study on the Separation and Recycling of the heavy metals from the etchant of INVAR alloy
박무룡,송민철,박진호,|Mooryong Park,Minchul Song,Chinho Park,Jaeho Park,Choongho Kim,Goohak Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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수소 식각과 CMP 공정에 의한 on-axis 6H-SiC 표면의 step 형성연구|Step Formation on on-axis 6H-SiC surface using H2 Etching and CMP Processes
이경선,김광철,노재일,이승현,남기석|Kyung-Sun Lee,Kwang Chul Kim,Jae Il Noh,Seung Hyun Lee,Kee Suk Nahm
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma
박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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광도파로용 감광성 폴리머(Ⅰ): Chalcone을 포함한 새로운 감광성 폴리이미드의 합성 및 특성
Xiangdan Li, 백성호*, 한상훈, Zhenxin Zhong, 김장주*, 이명훈
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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저온 소성이 가능한 PDP용 감광성 격벽 페이스트의 제조 및 공정 특성
박 이 순, 윤 상 원, 임 무 식, 이 호 식*, 신 경 석*
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘|Formation Mechanism of Microtrench in Dry Etching of Silicone
임연호,한윤봉|Y. H. Im,J. S. Park,Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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Level set 방법을 이용한 실리콘 식각 프로파일 모사|Simulation of Silicon Etch Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 ZnO박막의 식각 특성|Etch Characteristics of ZnO films in Cl2 based
박진수, 임연호, 최창선, 김태희, 한윤봉|J. S. Park, Y. H. Im, C. S. Choi, T. H. Kim and Y.B. Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
