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Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process 권혁규, 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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저품위 자철광으로부터 결정화 공정을 이용한 철 아세테이트 제조 및 고순도화 오한상, 서용재, 장희동, 구기갑 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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알루미나 에어로젤의 표면물성 변화에 따른 Pt-Co/Al2O3 촉매의 PROX 반응 특성 연구 최병옥, 서동진, 서영웅, 박태진, 이관영 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Investigation of effects of Sn addition to the carbon-supported Pt electrocatalysts on the electrooxidation of primary alcohols 김재홍, 김원배 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주, 채환국 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Preparation of Iron Oxalate/Iron Acetate from Magnetite by Selective Leaching out 오한상, 서용재, 장희동, 구기갑 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si 이형무, 박창한, 김창구 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |