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고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 GaN 식각 프로파일 모사|Simulation of GaN Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 최창선, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마 식각 반응기의 Sheath dynamics해석|Mathematical Modeling of Sheath Dynamics in High Density Plasmas
임연호, 박진수, 최창선, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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ITO glass의 사진 식각 공정에 관한 연구|Studies on the Photolithography of ITO glasses
황현민, 이태진, 박진호|Hyunmin Hwang, Taejin Lee, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Pt 박막의 패터닝 형성 및 저항소자의 온도-저항 특성 연구|The patterning of Pt thin film and temperature-resistance characteristics of RTD
원종각, 김지광, 김종성|Jongkak Won, Jikwang Kim, Jongsung Kim
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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유전 알고리즘을 이용한 Multi-Nozzle System의 최적설계|Optimal Design of Multi-Nozzle System Using Genetic Algorithm
김병철, 손세훈, 박상대, 정재학, 이문용|Byeungcheol Kim, Saehoon Son, Sangdae Park, Jae Hak Jung, Moonyong Lee
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas
선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching 특성|Etching Characteristics of Platinum Electrode for High Density Memory Devices
임동규, 김종성, 정지원|Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Chee Won Kim
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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Display Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구|Studies on the Etching Process of Display Shadow Mask
윤덕선, 이근우, 박진호|Deoksun Yoon, Gunwoo Lee, Chinho Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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Pt 박막을 이용한 온도 센서의 제조|The Fabrication of temperature sensor using Pt thin film
김지광, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Jongsung Kim, Younghwa Shin
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
