| 번호 | 제목 |
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Direct liquid injection ? metal organic chemical vapor deposition 공정을 이용한 BLT 강유전체 박막의 증착|The deposition of ferroelectric BLT film using direct liquid injection-metal organic chemical vapor deposition process 강상우,이시우|Sang-Woo Kang,Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Chloride VPE (CVPE) 법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of GaN Deposition Process using Chloride VPE (CVPE) Technique 신희섭, 신무환, 박진호|Heesub Shin, Moo-Whan Shin, Chinho Park 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
