| 번호 | 제목 |
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건식 세정 기술을 이용한 금속 표면의 오염물질 제거 심혜정, 조동련, 임경택, 정경운, 양은주 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 CO2 snow jet 세정공정 개발에 관한 연구 정지현, 강봉균, 김민수, 이종명, 이규필, 박진구 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구 김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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플라즈마 처리에 의한 표면개질이 습식세정 효율에 미치는 영향 백지영, 이명화, 송재동, 김상범, 김경수, 김성현 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거 김진수, 이승호, 박진구 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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UV/O3를 이용한 표면개질이 반도체 정밀세정에 미치는 영향 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정 백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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저온 플라즈마를 이용한 금속부품의 세정기술에 관한 연구 김경환, 김경석, 임경택, 송선정, 조동련 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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Plasma process for cleaning and desmear of Printed Circuit Board (PCB) 지영연, 장홍기 한국고분자학회 2007년 가을 학술대회 |
