| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Sequencial deposition of DCS and SiH4-based embedded-SiGe to overcome microloading effect 이용주, 최정동, 김명선 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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Sequencial deposition of DCS and SiH4-based embedded-SiGe to overcome microloading effect 이용주, 최정동, 김명선 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |