화학공학소재연구정보센터
번호 제목
8 Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering에 의해 증착된 Indium Zinc Oxide 박막의 전기적 특성과 광학적 특성
조한나, 정지원, 민수련, 이장우
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
7 Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
6 C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
5 Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막의 산소 농도의 영향
조한나, 정지원, 이장우, 민수련
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
4 Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 증착된 Zinc Oxide 박막의 광학적 특성과 전기적 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
3 HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
2 E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 이장우, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
1 고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회