화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

번호	제목
3	마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발\|Development of MEMS Process for Micro Plasma Realization 장수욱, 이제원, 박민영, 유승열, 노호섭, 조관식, 박강수, 손채화, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 가을 학술대회
2	평판형 유도결합 BCl₃/CF₄ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각\|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl₃/CF₄ Plasma 유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1	평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교\|Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas 박민영, 최충기, 류현우, 노호섭, 문준희, 유승열, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 봄 학술대회

번호	제목
3	마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발\|Development of MEMS Process for Micro Plasma Realization 장수욱, 이제원, 박민영, 유승열, 노호섭, 조관식, 박강수, 손채화, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 가을 학술대회
2	평판형 유도결합 BCl₃/CF₄ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각\|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl₃/CF₄ Plasma 유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1	평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교\|Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas 박민영, 최충기, 류현우, 노호섭, 문준희, 유승열, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 봄 학술대회