화학공학소재연구정보센터
번호 제목
107 반도체 클린룸 내 황화수소 및 암모니아 제거를 위한 폴리스티렌계 이온 교환 케미컬 필터 개발
안이삭, 김정훈, 강호철, 민수빈, 이평수
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회
106 반도체 클린룸의 AMCs 제거용 다공성 양이온교환 복합필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구
안이삭, 민수빈, 강호철, 서정권, 이평수, 김정훈
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
105 HF 및 F2 가스의 효율적인 제거를 위한 Y타입 기반 제올라이트 흡착제 개발
조문경, 이기봉
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
104 반응성 물질의 Powder 형성 제어를 위한 Heat-Jacket 작동온도 최적화
곽재웅
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
103 F2 및 HF 가스의 건식 제거를 위한 흡착제 개발
조문경, 이기봉
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
102 전기화학 검출 고성능액체크로마토그래피를 이용한 반도체 도금액 내 유기첨가제 농도분석법 개발
김성진, 박영민
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
101 차세대 반도체 제조용 포토레지스트 고분자 합성
이종찬
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
100 킬레이트 수지를 이용한 N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) 정제 방법 개발
김민준, 이아름, 노 수, 김재엽
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
99 액체 주석을 이용한 삼불화질소 (NF3) 제거 방법
황지원, 정수화, 황정호, 이은도
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
98 Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process
명경규, 변진욱, 임태호, 김재정
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회