번호 | 제목 |
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반도체 클린룸 내 황화수소 및 암모니아 제거를 위한 폴리스티렌계 이온 교환 케미컬 필터 개발 안이삭, 김정훈, 강호철, 민수빈, 이평수 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
106 |
반도체 클린룸의 AMCs 제거용 다공성 양이온교환 복합필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구 안이삭, 민수빈, 강호철, 서정권, 이평수, 김정훈 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
105 |
HF 및 F2 가스의 효율적인 제거를 위한 Y타입 기반 제올라이트 흡착제 개발 조문경, 이기봉 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
104 |
반응성 물질의 Powder 형성 제어를 위한 Heat-Jacket 작동온도 최적화 곽재웅 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
103 |
F2 및 HF 가스의 건식 제거를 위한 흡착제 개발 조문경, 이기봉 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
102 |
전기화학 검출 고성능액체크로마토그래피를 이용한 반도체 도금액 내 유기첨가제 농도분석법 개발 김성진, 박영민 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
101 |
차세대 반도체 제조용 포토레지스트 고분자 합성 이종찬 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
100 |
킬레이트 수지를 이용한 N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) 정제 방법 개발 김민준, 이아름, 노 수, 김재엽 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
99 |
액체 주석을 이용한 삼불화질소 (NF3) 제거 방법 황지원, 정수화, 황정호, 이은도 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
98 |
Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process 명경규, 변진욱, 임태호, 김재정 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |