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최적 반복 학습제어기법을 이용한 상업용 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어|Mutivariable Control of Wafer Temperature in a Commercial RTP Equipment using an Optimal Iterative Learning Control
조문기,원승희,주상래,진인식,양대륙,이광순|Moon Ki Cho,Sangrae Joo,Seung H. Won,In Sik Chin,Kwang S. Lee,Dae R.Yang
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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반복 학습 제어 기법을 이용한 고속 열처리공정의 온도 균일 제어|Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
이진호, 이광순, 최진훈|Jinho Lee, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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모델 예측 반복 학습 제어|Model Predictive Iterative Learning Control
진인식, 이광순, 최진훈|In Shik Chin, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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반회분/회분 반응기의 품질 및 추적 제어|Combined Quality and Tracking Control of a Semi-batch/batch Reactor
진인식, 이광순, 최진훈, 이재형|In Shik Chin, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi, Jay H. Lee
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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이차성능지수에 근거한 반복학습제어기법의 계산량 감소를 위한 Blocking 기법|Blocking Technique for Quadratic criterion-based Iterative Learning Control for Computation Reduction
진인식, 이광순|In Shik Chin, Kwang Soon Lee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
