번호 | 제목 |
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15 |
선형 유무기 하이브리드 형태의 하드마스크 제조 및 특성연구 유제정, 송재동, 이경균, 이성구, 김상범 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
14 |
Hybrid hard mask with single layer to apply spin-on process 송재동, 유제정, 이성구, 이경균, 김상범 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
13 |
유·무기 하이브리드 소재의 고차구조 제어 기술 임순호, 장지영, 한미정, 홍순만, 엄문광, 황석호 한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
12 |
AFM을 이용한 나노급 Ge2Sb2Te5의 전기적 특성 배병주, 홍성훈, 조중연, 오상철, 황재연, 이헌 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
11 |
Photoluminescence analysis of patterned light emitting diode structure 홍은주, 변경재, 박형원, 이 헌 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
10 |
삼차원 구조제어를 통한 고식각선택비 제어기술 황석호 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
9 |
하드 마스크(Hard mask) 제작을 위한 TiN 박막의 증착에 관한 연구 이도영, 정지원 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
8 |
HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성 민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
7 |
HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각 민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
6 |
Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각 민수련, 조한나, 임성근, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |