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원자층 증착법으로 증착한 Al을 도핑한 ZnO 박막의 특성평가
신웅철, 최규정, 정현준, 윤순길
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Rf-sputtering법에 의해 제조된 투명전극용 ZnO:Al박막의 flexible한 기판에 대한 전기광학적 특성 연구
안흥기, 김남철
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Twin target sputtering system with ladder type magnet array for direct Al cathode sputtering on organic layers
정진아, 문종민, 김한기
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Mechanical behavior of Micro-nano scale thin films for reliability study
현승민
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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양극산화 알루미늄 기판을 이용한 Ni imprint stamp의 제작 및 응용
임승규, 정근희, 박인수, 박정갑, 이용호, 서수정
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Mo under-layer의 두께에 따른 TFT 신호 배선 용 순수 Al 박막에서의 미세 구조 변화 및 hillock 형성에 미치는 영향(Effects of Mo under-layer thickness on the microstructure and hillock formation of pure Al film for the interconnection of TFT)
설재복, 김형석, 서주형, 박찬경
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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투명전극용 ZnO:Al 박막의 전기적 안정성.(Study on the Electrical Stability of Al-doped ZnO Transparent Conductive Thin Films.)
정종국, 이성의, 임실묵
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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양극산화 알루미늄 기판을 이용한 Co-Pt합금의 저장매체로의 응용
임승규, 나석민, 이두현, 서수정
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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RF/DC 스퍼터링법에 의한 AZO(Zn:Al)박막특성 연구.|The study on properties of AZO(Zn:Al)film by RF/DC co-sputtering.
정종국, 임실묵
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
