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번호	제목
23	Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies 육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
22	ArF 노광에 의한 MoSiON mask의 Critical Dimension 변화억제 추혁성, 서동완, 오은석, 임상우 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회
21	Phase Shift Mask의 표면개질에 의한 Critical Dimension 변화억제 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
20	SC-1 세정 시 표면처리에 따른 Phase Shift Mask의 Critical Dimension 변화 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
19	Plasma surface reaction modeling coupled with global bulk plasma model in fluorocarbon plasmas 이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
18	Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO₂의 식각특성에 관한 연구 염근영, 전민환, 김회준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회
17	BCl₃ Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각 김찬규, 민경석, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회
16	기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
15	Highly tunable block copolymer self-assembly for nanopatterning 정연식, 정재원 한국재료학회 2011년 봄 학술대회
14	상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회