화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
2 Cu Electrochemical Deposition on Ru seed layer using Electrochemical plating
김형일, 조중희, Dar Mushtaq Ahmad, 김길성, 김영순, 신형식
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
1 Conformal Cu film growth by pulsed-MOCVD using (hfac)Cu(DMB) and (hfac)Cu(VTMS)
탁영조, 김관수, 용기중
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회