번호 | 제목 |
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Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
2 |
Cu Electrochemical Deposition on Ru seed layer using Electrochemical plating 김형일, 조중희, Dar Mushtaq Ahmad, 김길성, 김영순, 신형식 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
Conformal Cu film growth by pulsed-MOCVD using (hfac)Cu(DMB) and (hfac)Cu(VTMS) 탁영조, 김관수, 용기중 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |