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DC 마그네트론 스퍼터링법으로 형성된 TiN 박막의 구조적 특성
한원석, 신동휘, 송창호, 변창섭, 김선태
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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DC마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 GxZO박막의 전기적 특성에 대한 공정변수의 영향
박문기
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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PAD법으로 제작된 산화코발트-산화주석 복합체의 가스 감응 특성
안세용, 리웨이, 장동미, 정혁, 김도진
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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금속타겟 제조법에 따른 CuGa 박막의 특성조사
조상현, 황철균, 김재육, 이상돈, 김맹준, 이성호
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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ITO 타겟 표면에 발생하는 노듈 형성에 미치는 CaCO3 첨가의 영향
조상현, 강용민, 이정락, 이진호, 최준호, 송풍근
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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DC마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Cerium 첨가 ITO박막의 특성 연구
김세일, 조상현, 이진호, 최성룡, 윤한호, 송풍근
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 PET 기판 위에 증착한 ITO 박막의 특서에 대한 기판온도의 영향
이동엽, 이정락, 이건환, 송풍근
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 증착한 ZnO 박막의 Indium 첨가량에 따른 구조적, 전기적 특성
박세훈, 나결, 이진호, 송풍근
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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RF 및 DC 방전에 따른 Ga첨가 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
박상은, 이정철, 이진호, 송풍근
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 방전전력 영향에 따른 특성 연구|Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
Hong Mo Koo, Se Hyun Kim, Yeon Keon Moon, Chang-Oh Jeong, Jong Wan Park
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
